氣體凈化與特種氣體除雜——吸附
來源：江蘇海普(pu)功能(neng)材料(liao)有限(xian)公司 閱讀：3360 更新時(shi)間：2022-08-25 13:51
氣(qi)體凈(jing)化與特種氣(qi)體除(chu)雜——吸附 多晶硅，灰色金屬光澤(ze)，溶(rong)于(yu)氫氟酸(suan)和硝酸(suan)的(de)混(hun)酸(suan)中， 不溶(rong)于(yu)水、硝酸(suan)和鹽酸(suan)。高溫(wen)熔融(rong)狀態下，具(ju)有較大的(de)化學(xue)活(huo)潑性質，能與幾(ji)乎(hu)任何材料作用，具(ju)有半導(dao)(dao)體性質，是極(ji)為重要(yao)的(de)優良半導(dao)(dao)體材料，但(dan)是微量的(de)雜質即可大大影(ying)響其導(dao)(dao)電性。
?電子工業(ye)中廣泛(fan)應(ying)用于制造各(ge)類產品，由干燥(zao)硅粉與(yu)干燥(zao)氯化(hua)氫氣體在一定條件下氯化(hua)，再經冷凝、精餾(liu)、還原而得。
多晶硅是(shi)生產(chan)單晶硅的(de)直接原料，是(shi)當代人工(gong)智(zhi)能、自動控制、信息處(chu)理(li)、光(guang)電(dian)轉換等半導體器件的(de)電(dian)子信息基(ji)(ji)礎材料，被(bei)稱為“微電(dian)子大廈(sha)的(de)基(ji)(ji)石”。
而在生產過(guo)程中(zhong)由于(yu)氣(qi)體(ti)雜(za)質的存在，對半導體(ti)材料的危(wei)害(hai)也是很大(da)的，為(wei)了得到高質量的多(duo)晶硅(gui)和單(dan)晶硅(gui)，因此(ci)在氣(qi)體(ti)前必須將氣(qi)體(ti)進行凈(jing)(jing)化(hua)(hua)。凈(jing)(jing)化(hua)(hua)的方(fang)法(fa)有很多(duo)，在氣(qi)體(ti)凈(jing)(jing)化(hua)(hua)技術(shu)中(zhong)，經常綜合運用以下(xia)幾個(ge)方(fang)面的知識；
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用吸濕性液(ye)體干燥劑(ji)（液(ye)堿、硫酸等）進行(xing)吸收；
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用固體干燥劑：KOH、CuSO4、CaCl2過氯酸鎂等進行化學吸收，用硅膠、
分子篩(shai)等進行(xing)物理吸收(shou)； -
用(yong)催(cui)化(hua)劑進行(xing)化(hua)學催(cui)化(hua)；
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用冷(leng)媒或冷(leng)劑（液態(tai)氮(dan)等）進行低溫冷(leng)凍；
其(qi)中吸(xi)附劑的種(zhong)類有很多，目(mu)前(qian)我國半導體工業中最(zui)廣泛應用的還是硅膠分子篩酯類的吸(xi)附劑。
化學催(cui)化反應是指存在(zai)于氣(qi)體中(zhong)的有(you)害雜質有(you)時不能靠物理的方法從氣(qi)體中(zhong)去除(chu)，而(er)是借助(zhu)催(cui)化劑(ji)的作用，使氣(qi)體中(zhong)的雜質被吸附在(zai)催(cui)化劑(ji)表(biao)面，使雜質與(yu)氣(qi)體中(zhong)的其他組分相互(hu)起化學反應轉化為無害的化合(he)物，這猴(hou)子(zi)那個方法被稱為化學催(cui)化。
海普開發的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)凈化與特種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)除(chu)雜(za)——吸(xi)附工藝，采(cai)用自主研(yan)發的(de)吸(xi)附催化產品，可針對性(xing)解決(jue)半導(dao)體(ti)(ti)行業中的(de)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)凈化與特種氣(qi)(qi)體(ti)(ti)除(chu)雜(za)。
