北京萬侯微電子超純水處理技術
來源:北京萬侯(hou)環境技術開發有限公司 閱(yue)讀:2104 更新時間:2011-04-08 17:11超純水處理
超(chao)純水系(xi)統分(fen)為預處理(li)、反(fan)滲(shen)透系(xi)統、精脫鹽系(xi)統及產品水儲存輸送(song)系(xi)統等部(bu)分(fen)。
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設計原則
1.操作安(an)全、運行穩定、易于(yu)管理(li)
2.具備完善、可(ke)靠(kao)的自我保護功能
3.具備(bei)良好的故障(zhang)恢復(fu)性能
4.具備最佳運行狀態重現性
系統階段(duan)質量標準(25°C)
1.一級反滲透(tou)產水(shui)電阻(zu)率 ρ>0.1MΩ.cm
2.二級反滲透產(chan)水電阻率(lv) ρ>1.0MΩ.cm
3.EDI電(dian)脫(tuo)鹽產(chan)水(shui)電(dian)阻率 ρ>15.0MΩ.cm
4.產品水電阻率 ρ>18.0MΩ.cm
系統階段性能
1.一級(ji)反滲透RO系統水利用率 ≥75%
2.二(er)級(ji)反滲(shen)透RO系(xi)統水利(li)用率 ≥85%
3.EDI電脫鹽系統水(shui)利用率 ≥90%
4.產品水電阻率 >18.0MΩ.cm
5.RO膜(mo)使用(yong)壽命不低于3年(nian),三年(nian)后RO膜(mo)脫鹽率>95%
EDI膜塊使(shi)用壽命不(bu)低于3年
流程圖
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主要設備索引
多介質過濾器
活性炭過濾器
精密過濾器
全自動軟水器
RO反滲透膜
混床
UF超濾
UV紫外線消毒器
水箱
純水和膜處理工藝
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在純水(shui)處理、尤其是(shi)超(chao)純水(shui)處理工藝中,各種膜處理工藝被廣(guang)泛地使用(yong)。不同的過(guo)濾器能濾除對應的雜(za)質(zhi)。
每種膜處理(li)設(she)備都(dou)有各自的(de)(de)進水(shui)要求,所以,純水(shui)處理(li)工藝都(dou)是用低級別的(de)(de)過濾設(she)備作為(wei)高級別過濾器的(de)(de)前級。
經過RO反滲透的水,其中鹽分被過濾掉,才能測量出水的電阻率出現升高。對于超純水需要二級反滲透才能滿足要求。