電子行業超純水制備工藝
來源：深圳市九牧水處理科技有(you)限公司 閱(yue)讀：1876 更新時間：2009-04-07 09:27.jpg) |
電子工業用超純水概(gai)述
半(ban)導(dao)體(ti)、集(ji)成電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)芯片及封裝(zhuang)、液晶顯示、高(gao)(gao)精度線路(lu)(lu)板(ban)、光電(dian)(dian)(dian)器件(jian)、各種電(dian)(dian)(dian)子器件(jian)、微電(dian)(dian)(dian)子工(gong)業、大(da)規(gui)模(mo)、超大(da)規(gui)模(mo)集(ji)成電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)需用大(da)量的高(gao)(gao)純(chun)水、超純(chun)水清洗半(ban)成品、成品。集(ji)成電(dian)(dian)(dian)路(lu)(lu)的集(ji)成度越高(gao)(gao)，對水質(zhi)的要求也越高(gao)(gao)。目前(qian)我國電(dian)(dian)(dian)子工(gong)業部把(ba)電(dian)(dian)(dian)子級水質(zhi)技(ji)術分為五個行(xing)業標準，分別(bie)為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以區分不同水質(zhi)。
制備電子工(gong)業用超純水的(de)工(gong)藝流程
電子(zi)行(xing)業(ye)制備超水的(de)工藝大致(zhi)分(fen)成以(yi)下幾種：
1、采用(yong)離子交(jiao)換樹脂制備超純(chun)水的傳統水處理方(fang)式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密(mi)過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床（復床）→純(chun)水箱→純(chun)水泵(beng)→后置精密(mi)過濾器→用(yong)水點
2、采用反(fan)(fan)滲(shen)透(tou)(tou)水(shui)處理設(she)備(bei)與(yu)離子交換(huan)設(she)備(bei)進(jin)行組合(he)的(de)方式，其(qi)基本工(gong)藝流程為：原水(shui)→沙炭過濾(lv)器→精密(mi)過濾(lv)器→原水(shui)箱→反(fan)(fan)滲(shen)透(tou)(tou)設(she)備(bei)→混(hun)床(chuang)（復床(chuang)）→純水(shui)箱→純水(shui)泵→后置精密(mi)過濾(lv)器→用水(shui)點
3、采(cai)用反滲透水(shui)(shui)(shui)處(chu)理設(she)備(bei)與電去離子（EDI）設(she)備(bei)進(jin)行(xing)搭配的(de)的(de)方式，這(zhe)是一(yi)種制取(qu)超(chao)純(chun)水(shui)(shui)(shui)的(de)最新工(gong)(gong)藝(yi)，也是一(yi)種環保，經(jing)濟，發(fa)展潛力巨大的(de)超(chao)純(chun)水(shui)(shui)(shui)制備(bei)工(gong)(gong)藝(yi)，其基本工(gong)(gong)藝(yi)流程為：原水(shui)(shui)(shui)→沙炭過(guo)濾器(qi)→精(jing)(jing)密(mi)過(guo)濾器(qi)→原水(shui)(shui)(shui)箱(xiang)→反滲透設(she)備(bei)→電去離子（EDI）→純(chun)水(shui)(shui)(shui)箱(xiang)→純(chun)水(shui)(shui)(shui)泵→后(hou)置精(jing)(jing)密(mi)過(guo)濾器(qi)→用水(shui)(shui)(shui)點
